枚葉式濺鍍設備

枚葉式磁控濺鍍設備

產品分類：真空設備, 真空連續式濺鍍系統

適合於半導體WAFER 製程產業, 搭配EFEM / LOAD PORT 自動鍍膜方案
電漿清潔製程與鍍膜製程結合,雙製程合併架構.
可自動化上下片與CIM全廠規劃.
可採平面翻靶平躺靶源,方便設備保養維護.
客制化鍍膜有效區與規格架構,滿足產業製程需求.

金屬濺鍍製程 / 反應式濺鍍製程 / 氧化物鍍膜製程
漾色鍍膜 / CHIP EMI 封裝鍍膜等產業.

水平連續式濺鍍設備

雷射(激光)光學蒸鍍設備

雙電子束蒸鍍設備

卷對卷RTR濺鍍設備