雷射(激光)光學蒸鍍設備

產品分類：真空蒸鍍系統, 真空設備

機台適合學研界及產業界使用
晶片尺寸為2~8吋晶片使用
基板具有真空翻面鍍膜功能,翻面穩定性佳
客製化機台設計,可以依照客戶要求設計
具有離子圓助鍍的功能
可以依照客戶需要加裝光學監控功能

光學蒸鍍製程 / Laser Bar蒸鍍製程
AR/HR 光學多層數膜蒸鍍製程
Laser Bar AR/HR 多層數光學蒸鍍製程
學研界研究機台

光學即時產品監控系統

電子束+熱阻式蒸鍍設備

批次ALD(原子層)鍍膜設備

LOAD-LOCK批次連續式磁控濺鍍設備