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電子束蒸鍍設備

  • 產品特色:
  • 機台適合學研界及產業界使用
  • 晶片尺寸為2~8吋晶片使用
  • 產業界產能高
  • 基板水冷機構,可以使用在低溫基板製程
  • 客製化機台設計,可以依照客戶要求設計
  • 市場佔有率高
  • 真空度抽氣速度快,提升機台產能速度
  • 可以依照客戶需要做電漿清潔製程或離子清潔製程.
  • 製程與產業:
  • 金屬蒸鍍製程 /氧化物蒸鍍製程 / Au/Sn等合金蒸鍍製程
  • LED 電極/ITO 氧化物/ MOSFET 電極/
  • 三代半導體電極鍍膜/學研界研究機台
  • 產品圖庫:
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