廠務特氣盤面及管路改造工程

廠務特氣盤面及管路改造工程

  • 氣體管路規劃設計施工
  •  製程化學管路設計施工
  •  HV/LV真空管路規劃設計施工
     廠房EXHAUST排氣設計施工
  •  化學供應系統設計施工
  • 氣體/化學VMB/P設計製造
  • 廠房氣體偵測監控系統規劃施工(GMS)
  • 氣體用高潔淨調壓閥Regulator (AP-TECH…) / 氣動(隔膜閥) VALVE Parts 販售
  • 化學用藥液閥 氣動閥 VALVE Parts / Filter 販售
  • Heating Jacket System (CVD/Pumplin加熱保溫) 設計施工
  • 地震儀Seismograph系統設計施工