光学实时产品监控系统
- 產品分類： ALD 原子层镀膜系统, 真空设备
- 产品特色:
- 开发直接式光学监控系统: 直接监控产品光谱.
- 开发薄膜设计转文件程序 (DESIGN TO MACHINE, D2M): 自动选择监控波长.
- 智能自动化光学监控系统: 自我补偿程序 (光学常数拟合以及实时设计优化)
- 软体特色与功能:
1. 金属蒸镀镀膜设计编辑功能
- 读取薄膜设计档 (MACLEOD)
- 自动选取监控波长
- 切点方式选择判断
- 光学常数拟合软件2.镀膜控制功能
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- PLC沟通功能
- 自动镀膜控制程序
- 续镀和补镀功能
2.切点监控方法
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- 时间监控法能
- 转折点拟合监控法
- 比例监控法
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- 产品图库:
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