电子束蒸镀设备
- 产品特色:
- 机台适合学研界及产业界使用
- 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
- 产业界产能高
- 基板水冷机构,可以使用在低温基板制程
- 客制化机台设计,可以依照客户要求设计
- 市场占有率高
- 真空度抽气速度快,提升机台产能速度
- 可以依照客户需要做电浆清洁制程或离子清洁制程.
- 制程与产业:
- 金属蒸镀制程 /氧化物蒸镀制程 / Au/Sn等合金蒸镀制程
- LED 电极/ITO 氧化物/ MOSFET 电极/
- 三代半导体电极镀膜/学研界研究机台
- 产品图库:
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