一、真空數值偵測器：

廠牌：

ULAVC、INFICON、MKS

種類：

Pirani 、Batabron 、Cold Cathed、Hot filament ionization 等。

二、電子束蒸發源：

廠牌：

ULVAC、JEOL

型號：

EGL-35M、EGL-206/406M、EGN-406M、EBG-203U

二、電子束蒸發源更換部件：

廠牌：

ULVAC、JEOL

項目：

Hearth、Heartg Deck、Filament、Emitter Assembly、Anode Plate 、BeamForm等

三、各式濺鍍源及離子源販售及安裝規劃：

四、石英式膜厚偵測器新品：

五、石英式膜厚偵測器更換部件：

1.石英振盪片(Quartz Crystal) ：

5MHZ(Au/Sliver coating、Dia 0.49”)，6MHZ(Au/Sliver coating、Dia 0.55”)

2.訊號傳導導線：

Internal Cable、Auxiliary Cable、External Cable 等

六、各式大電流、高電壓及訊號真空導入：

七、客製化各式真空用部件