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雷射(激光)光学蒸镀设备
- 产品特色:
- 机台适合学研界及产业界使用
- 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
- 基板具有真空翻面镀膜功能,翻面稳定性佳
- 客制化机台设计,可以依照客户要求设计
- 具有离子圆助镀的功能
- 可以依照客户需要加装光学监控功能
- 制程与产业:
- 光学蒸镀制程 / Laser Bar蒸镀制程
- AR/HR 光学多层数膜蒸镀制程
- Laser Bar AR/HR 多层数光学蒸镀制程
- 学研界研究机台
- 产品图库:
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