单腔批次式磁控溅镀设备

產品分類：真空设备, 真空连续式溅镀系统

电浆清洁制程与镀膜制程结合,双制程合并架构.
可规划立式滚桶镀膜/水平滚桶镀膜之单/双面镀膜架构.
前置作业区由人员取放片与CIM全厂规划.
可采开腔门或垂直平躺靶源,方便设备保养维护.
客制化镀膜有效区与规格架构,满足产业制程需求.

金属溅镀制程 / 反应式溅镀制程 / 氧化物镀膜制程
主被动组件镀膜等产业.

光学枚叶式溅镀设备

电子束+热阻式蒸镀设备

水平连续式溅镀设备

雷射(激光)光学蒸镀设备