电浆离子源蒸镀设备

  • 机台适合学研界及产业界使用
  • 芯片尺寸为2~8吋芯片使用
  • 镀膜速度快
  • 附着性, 致密性优
  • 构造简单, 维修方便
  • 用加热丝方式进行加热,不同模块进行控温
  • LED ITO 透明导电膜制程
  • OLED 透明导电膜制程/ 氧化物多层膜制程
  • 学研界研究机台