電子束蒸鍍設備

產品分類：真空蒸鍍系統, 真空設備

機台適合學研界及產業界使用
晶片尺寸為2~8吋晶片使用
產業界產能高
基板水冷機構,可以使用在低溫基板製程
客製化機台設計,可以依照客戶要求設計
市場佔有率高
真空度抽氣速度快,提升機台產能速度
可以依照客戶需要做電漿清潔製程或離子清潔製程.

金屬蒸鍍製程 /氧化物蒸鍍製程 / Au/Sn等合金蒸鍍製程
LED 電極/ITO 氧化物/ MOSFET 電極/
三代半導體電極鍍膜/學研界研究機台

光學枚葉式濺鍍設備

雙電子束蒸鍍設備

卷對卷RTR濺鍍設備

連續式磁控濺鍍設備-垂直鍍膜型