
電子束+熱阻式蒸鍍設備
- 產品特色:
- 機台適合學研界及產業界使用
- 晶片尺寸為2~8吋晶片使用
- 電子束及熱阻式 蒸發源鍍膜可以依照製程切換使用
- 電子束及熱阻式 蒸發源鍍膜可以依照客戶要求在中央位置或是分居在腔體兩側位置
- 可以精密監控鍍膜速度及厚度
- 客製化機台設計,可以依照客戶要求設計
- 市場佔有率高
- 真空度抽氣速度快,提升機台產能速度
- 可以依照客戶需要做電漿清潔製程或離子清潔製程.
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