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連續式磁控濺鍍設備-垂直(傾斜)鍍膜型

  • 產品特色:
  • 電漿清潔製程與鍍膜製程結合,雙製程合併架構.
  • 傾斜7度角進行鍍膜與台車傳送,無須對基板做挾持可全基板鍍膜.
  • 台車上方採非接觸式(磁浮)設計,下方採摩擦桿配合真空磁流體穩定傳送.
  • 縮短台車間距,增加靶材鍍膜利用效率.
  • 基板可全面鍍膜與低PARTICLE 製程優勢.
  • 可配合自動化取放片與CIM全廠規劃.
  • 作業平台建立,方便設備保養維護.
  • 客制化鍍膜有效區與規格架構,滿足產業製程需求.
  • 製程與產業:
  • 金屬濺鍍製程 / 反應式濺鍍製程 / 氧化物鍍膜製程
  • TFT-BSITO鍍膜 / 太陽能光電鍍膜 / 漾色鍍膜 等產業.
  • 產品圖庫:
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